Високоточна відеовимірювальна система iNEXIV VMZ-H3030
- Особливості
- Характеристики
- Завантаження
Модель мікроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 із величиною ходу столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа дозволяє проводити високоточні вимірювання невеликих деталей, наприклад, фотошаблонів, MEMS, корпусів деталей, мікроскладань, підкладок, напівпровідникових пластин, пресованих і штампованих деталей.
Отримати комерційну пропозицію
Особливості
- Завдяки гнучкості й надвисокій точності модель Nikon NEXIV VMZ-H3030 може стати основним інструментом у вимірювальній лабораторії. Завдяки оптимальному поєднанню скляних шкал із низьким коефіцієнтом теплового розширення й апаратних рішень мікроскоп дозволяє досягти субмікронного рівня точності.
- Високошвидкісне лазерне автофокусування дозволяє проводити аналіз поперечних перерізів і оцінювання площинності, а також тривимірне замірювання профілю поверхні прес-форм і штампувань.
- Широкий вибір освітлювачів забезпечує точне визначення межі поділу.
Новий модуль VMR-Z120X забезпечує діапазон збільшення від 1х до 120х завдяки застосуванню двох об'єктивів і зміні оптичного шляху. 8-ступінчасте масштабування дозволяє системі проводити швидкі вимірювання сотень різних параметрів і важливі вимірювання ліній шириною від 1 мкм за постійного поля зору.
Особливості
- Модуль максимального збільшення в поєднанні з високоточним предметним столиком дозволяє проводити точний вимір як великих деталей, так і мініатюрних структур.
- Система лазерного автофокусування здійснює фокусування щодо точки малого розміру, щоб забезпечити високу точність вимірювання поперечних перерізів і висоти дрібних деталей.
- Програмне забезпечення для аналізу поверхні, що постачається як опція, дозволяє відображати форми деталей MEMS у тривимірному поданні.
- Знаменита оптика Nikon CFI60-2 без внутрішніх напружень забезпечує чіткі, висококонтрастні зображення, тому ця система найкраще підходить для спостереження підкладок РК-дисплеїв великого розміру та світлофільтрів. Система дозволяє проводити як спостереження деталі, так і вимірювання її розмірів із застосуванням технологій оброблення зображень. За допомогою призми високого диференціально-інтерференційного розмаїття можна також отримувати зображення з покращеним контрастом.
Сфери застосування
Друковані плати, мікрозбірки, підкладки, корпуси (2D + висота), деталі MEMS.
Модель мікроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 із величиною ходу столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа дозволяє проводити високоточні вимірювання невеликих деталей, наприклад, фотошаблонів, MEMS, корпусів деталей, мікроскладань, підкладок, напівпровідникових пластин, пресованих і штампованих деталей.
Отримати комерційну пропозицію
|
Переміщення за XYZ
|
Тип 1, 2, 3 и 4
|
300 × 300 × 150 мм
|
|
Тип Z120X з об'єктивом високого збільшення
|
300 × 300 × 150 мм
|
|
Тип Z120X з об'єктивом малого збільшення
|
250 × 300 × 150 мм
|
|
Тип LU
|
1200 × 720 × 150 мм
|
|
Мінімальний крок зчитування
|
0.01 мкм
|
|
Максимальна вага зразка
|
30 кг
|
|
Точність
(L: довжина мм)
|
U1X, U1Y
|
0.6 + 2L / 1000 мкм
|
|
U2XY
|
0.9 + 3L / 1000 мкм
|
|
Точність осі Z (із лазерним автофокусом) 0.9 + L / 150 мкм
|
0.9 + L / 150 мкм
|
|
Камера
|
Камера чорно-біла ПЗЗ 1/3”, кольорова ПЗЗ 1/3” (опція).
Чорно-біла ПЗЗ 1/3” з прогресивним скануванням, кольорова ПЗЗ 1/3” (опція)
|
|
Робоча відстань об'єктива
|
Тип 1, 2 и 3
|
50 мм за кута освітлення 37°,
10 мм за куті освітлення 75°
|
|
Тип Z120X
|
Тип Z120X 9.8 мм для об'єктива великого збільшення та 32 мм для об'єктива малого збільшення
|
|
Збільшення та поле зору
|
Тип 1
|
0.5 ~ 7.5× / 9.33 × 7 ~ 0.622 × 0.467 мм
|
|
Тип 2
|
1 ~ 15× / 4.67 × 3.5 ~ 0.311 × 0.233 мм
|
|
Тип 3
|
2 ~ 30× / 2.33 × 1.75 ~ 0.155 × 0.117 мм
|
|
Тип Z120X
|
1 ~ 120× / 4.67 × 3.5 ~ 0.039 × 0.029 мм
|
|
Автофокус
|
Тип 1, 2, 3 та Z120X обладнані лазерним автофокусуванням через об'єктив та візуальним автофокусуванням.
Тип LU обладнаний лише візуальним автофокусуванням
|
|
Освітлювачі
|
Тип 1, 2 и 3
|
Світлодіодний епіскопічний та діаскопічний освітлювачі.
8-сегментний світлодіодний кільцевий освітлювач (внутрішній кільцевий освітлювач з кутом освітлення 37° та зовнішній кільцевий освітлювач з кутом освітлення 75°)
|
|
Тип Z120X
|
Світлодіодний епіскопічний та темнопольний освітлювачі для об'єктивів великого та малого збільшення.
Світлодіодний діаскопічний освітлювач тільки для об'єктива великого збільшення
|
|
Вимоги до мережі живлення
|
AC 100–240 В ± 10%, 50 або 60 Гц
|
|
Споживання струму
|
11 A (стандарт), 13 A (Z120X)
|
|
Розміри й вага
|
Основний блок і стіл
|
1000 × 1100 × 1900 мм / 570 кг
|
|
Блок керування
|
250 × 550 × 500 мм / 31 кг
|
|
Система, включно з комп'ютером на столі
|
2400 × 1400 мм
|
Модель мікроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 із величиною ходу столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа дозволяє проводити високоточні вимірювання невеликих деталей, наприклад, фотошаблонів, MEMS, корпусів деталей, мікроскладань, підкладок, напівпровідникових пластин, пресованих і штампованих деталей.
Отримати комерційну пропозицію
