Особенности
- Медиакамера без мертвого пространства
- Отличное поведение при полоскании
- Испытано на герметичность гелием, скорость утечки ≤ 10-9мбар·л/с
- Корпус и камера для среды электрополированы, шероховатость поверхности Ra ≤ 0,25 мкм
- Доступны все фитинги для газа сверхвысокой чистоты
Применение
- Производство полупроводников и плоских панелей
- Системы газораспределения
- Медицинские газы
- Hook-up-приложение
