Універсальні рентгенфлуоресцентні прилади для вимірювання та аналізу у сфері забезпечення якості, вхідного контролю й контролю техпроцесів XDLM® 231, 232, 237
  • Особливості
  • Характеристики

FISCHERSCOPE X-RAY XDLM є універсальними енергодисперсійними рентгенфлуоресцентними вимірювальними приладами. Вони добре підходять для вимірювань й аналізу тонких покриттів, навіть із малими концентраціями компонентів, у сфері забезпечення якості, вхідного контролю та контролю техпроцесів.

Отримати комерційну пропозицію

Особливості

Типові сфери застосування:

  • Вимірювання гальванічних деталей масового виробництва
  • Перевірка тонких покриттів із малими площами вимірювання
  • Аналіз функціональних покриттів в електронній і напівпровідниковій промисловості
  • Автоматичні вимірювання, наприклад, на друкованих платах

Щоб створити ідеальні умови збудження для кожного вимірювання, прилад має електрично змінні апертури та первинні фільтри. Висока швидкість рахунку досягається за допомогою пропорційної лічильної трубки, що дає змогу проводити точні вимірювання.

Надзвичайна точність і довгострокова стабільність є характеристиками всіх систем FISCHERSCOPE X-RAY. Значно зменшена необхідність повторного калібрування, що економить час і зусилля.

Метод фундаментальних параметрів FISCHER дає змогу аналізувати тверді й рідкі зразки, а також системи покриттів без калібрування.

Конструкція

Інструменти FISCHERSCOPE X-RAY XDLM мають модульну конструкцію, що робить їх зручними настільними інструментами. Залежно від функціонального призначення доступні різні версії приладу:

  • XDLM 231: плоский опорний столик, моторизована вісь Z
  • XDLM 232: столик із ручним переміщенням в площині XY, моторизована вісь Z
  • XDLM 237: столик із приводом від двигуна в площині XY, що автоматично переміщується в положення завантаження, коли відкривається захисний кожух. Програмована вісь Z із приводом від електродвигуна

Кольорова відеокамера високої роздільної здатності спрощує точне визначення точки вимірювання. Лазерна указка на всіх моделях служить допоміжним засобом позиціонування та виконання швидкого вирівнювання зразка для вимірювання.

Зазор у корпусі дає змогу проводити вимірювання на великих плоских зразках, які не поміщаються у вимірювальну камеру, наприклад, на великих друкованих платах.

Вбудований відеомікроскоп із функцією масштабування та хрестоподібною позначкою спрощує розміщення зразка й дає змогу точно налаштувати точку вимірювання.

Управління та оцінювання вимірювань, а також чітке представлення даних вимірювань виконуються на ПК за допомогою потужного й зручного програмного забезпечення WinFTM®.

Прилади серії FISCHERSCOPE XDLM відповідають DIN ISO 3497 і ASTM B 568. Це повністю захищені інструменти зі схваленням типу відповідно до німецького законодавства про радіаційний захист.

FISCHERSCOPE X-RAY XDLM є універсальними енергодисперсійними рентгенфлуоресцентними вимірювальними приладами. Вони добре підходять для вимірювань й аналізу тонких покриттів, навіть із малими концентраціями компонентів, у сфері забезпечення якості, вхідного контролю та контролю техпроцесів.

Отримати комерційну пропозицію

Призначення

Енергодисперсійний рентгенівський флуоресцентний вимірювальний прилад (EDXRF) для визначення товщини тонких покриттів, аналізу малих структур і сплавів

Діапазон елементів

Від калію K (19) до урану U (92) – до 24 елементів одночасно з опцією WinFTM® BASIC

Конструкція

Настільний прилад із кришкою, що відкривається вгору

Напрямок вимірювання

Згори вниз

Джерело рентгенівського випромінювання

 

Рентгенівська трубка

Мікрофокусна вольфрамова трубка з берилієвим вікном

Висока напруга

Три ступені: 30 кВ, 40 кВ, 50 кВ; макс. анодний струм: 1 мА

Діафрагми (коліматори)

Чотири змінні

Стандартно (мм):

Ø 0,1, Ø 0,2, 0,05 x 0,05, 0,2 x 0,03; -

Опція (мм):

Ø 0,1, Ø 0,2, Ø 0,3, 0,3 x 0,05; -

Опція (мм):

Ø 0,1, Ø 0,2, 0,3 x 0,05, 0,05 x 0,05; -

 

Інші на запит

Первинний фільтр

Три змінні (стандартна конфігурація: нікель, алюміній, без фільтра)

Розмір точки вимірювання

Залежить від відстані вимірювання та діафрагми, фактичний розмір плями вимірювання показано на відеозображенні Найменша точка вимірювання: прибл. Ø 0,1 мм з апертурою 0,05 x 0,05 мм

Детектування рентгенівського випромінювання

 

Рентгенівський детектор

Пропорційна лічильна труба

Вимірювальна відстань

0–80 мм. Компенсація відстані за допомогою запатентованого методу DCM для спрощених вимірювань за змінної відстані. Для спеціальних завдань або для підвищених вимог до точності може знадобитися додаткове калібрування

Вирівнювання зразка

 

Відеомікроскоп

Кольорова CCD-камера високої роздільної здатності для оптичного контролю місця вимірювання по осі основного променя, ручне фокусування й автофокусування, хрестоподібна мітка з каліброваною шкалою (лінійкою) та точковим індикатором, регульоване світлодіодне підсвічування, лазерна указка (клас 1) для точного позиціонування зразка

Коефіцієнт масштабування

Цифрове 1x, 2x, 3x, 4x

Електричні характеристики

 

Джерело живлення

100–240 В / 50–60 Гц

Споживана потужність

Макс. 120 Вт, без ПК для оцінювання

Клас захисту

IP40

Розміри

 

Зовнішні габарити (Ш x Г x В)

570 x 760 x 650 мм

Камера для вимірювання, внутрішні габарити (Ш x Г x В)

460 x 495 x 146 мм

Вага

XDLM 231: 100 кг; XDLM 232: 108 кг; XDLM 237: 120 кг

Столик для зразків

XDLM 231

XDLM 232

XDLM 237

Конструкція

Фіксований столик

Столик із ручним переміщенням по осях XY

Програмований столик з електроприводом, переміщення по осях XY

Максимальний хід по осях XY

 

95 x 150 мм

255 x 235 мм

Швидкість переміщення по осях XY

 

 

≤ 80 мм/с

Точність повторного позиціонування XY

 

 

≤ 0,01 мм, незалежно від напрямку

Корисна площа для розміщення зразка

463 x 500 мм

420 x 450 мм

300 x 350 мм

Вісь Z

Електронне налаштування

Електронне налаштування

Програмована

Хід осі Z

140 мм

140 мм

140 мм

Максимальна вага зразка

20 кг

20 кг

5 кг, зі зниженою точністю позиціонування 20 кг

Максимальна висота зразка

140 мм

140 мм

140 мм

Умови зовнішнього середовища

 

Робоча температура

10…40°C

Температура зберігання / транспортування

0…50°C

Допустима вологість повітря

≤ 95%, без конденсації

Блок оцінювання

 

Комп’ютер

Windows® ПК з картою розширення

Програмне забезпечення

Стандартно: Fischer WinFTM® LIGHT.

Опція: Fischer WinFTM® BASIC, PDM®, SUPER

Стандарти

 

Декларація відповідності CE

EN 61010, EN 61326

Стандарти щодо рентгенівського випромінювання

DIN ISO 3497 і ASTM B 568

Сертифікація

Повністю захищені інструменти зі схваленням типу відповідно до законодавства Німеччини про

захист від радіації