facebook

Високоточна відеовимірювальна система iNEXIV VMZ-H3030

  • Особливості
  • Характеристики
  • Завантаження

Модель мікроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 із величиною ходу столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа дозволяє проводити високоточні вимірювання невеликих деталей, наприклад, фотошаблонів, MEMS, корпусів деталей, мікроскладань, підкладок, напівпровідникових пластин, пресованих і штампованих деталей.

Отримати комерційну пропозицію

Особливості

  • Завдяки гнучкості й надвисокій точності модель Nikon NEXIV VMZ-H3030 може стати основним інструментом у вимірювальній лабораторії. Завдяки оптимальному поєднанню скляних шкал із низьким коефіцієнтом теплового розширення й апаратних рішень мікроскоп дозволяє досягти субмікронного рівня точності.
  • Високошвидкісне лазерне автофокусування дозволяє проводити аналіз поперечних перерізів і оцінювання площинності, а також тривимірне замірювання профілю поверхні прес-форм і штампувань.
  • Широкий вибір освітлювачів забезпечує точне визначення межі поділу.

Новий модуль VMR-Z120X забезпечує діапазон збільшення від 1х до 120х завдяки застосуванню двох об'єктивів і зміні оптичного шляху. 8-ступінчасте масштабування дозволяє системі проводити швидкі вимірювання сотень різних параметрів і важливі вимірювання ліній шириною від 1 мкм за постійного поля зору.

Особливості

  • Модуль максимального збільшення в поєднанні з високоточним предметним столиком дозволяє проводити точний вимір як великих деталей, так і мініатюрних структур.
  • Система лазерного автофокусування здійснює фокусування щодо точки малого розміру, щоб забезпечити високу точність вимірювання поперечних перерізів і висоти дрібних деталей.
  • Програмне забезпечення для аналізу поверхні, що постачається як опція, дозволяє відображати форми деталей MEMS у тривимірному поданні.
  • Знаменита оптика Nikon CFI60-2 без внутрішніх напружень забезпечує чіткі, висококонтрастні зображення, тому ця система найкраще підходить для спостереження підкладок РК-дисплеїв великого розміру та світлофільтрів. Система дозволяє проводити як спостереження деталі, так і вимірювання її розмірів із застосуванням технологій оброблення зображень. За допомогою призми високого диференціально-інтерференційного розмаїття можна також отримувати зображення з покращеним контрастом.

Сфери застосування

Друковані плати, мікрозбірки, підкладки, корпуси (2D + висота), деталі MEMS.

Модель мікроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 із величиною ходу столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа дозволяє проводити високоточні вимірювання невеликих деталей, наприклад, фотошаблонів, MEMS, корпусів деталей, мікроскладань, підкладок, напівпровідникових пластин, пресованих і штампованих деталей.

Отримати комерційну пропозицію

Переміщення за XYZ

Тип 1, 2, 3 и 4

300 × 300 × 150 мм

Тип Z120X з об'єктивом високого збільшення

300 × 300 × 150 мм

Тип Z120X з об'єктивом малого збільшення

250 × 300 × 150 мм

Тип LU

1200 × 720 × 150 мм

Мінімальний крок зчитування

0.01 мкм

Максимальна вага зразка

30 кг

Точність

(L: довжина мм)

U1X, U1Y

0.6 + 2L / 1000 мкм

U2XY

0.9 + 3L / 1000 мкм

Точність осі Z (із лазерним автофокусом) 0.9 + L / 150 мкм

0.9 + L / 150 мкм

Камера

Камера чорно-біла ПЗЗ 1/3”, кольорова ПЗЗ 1/3” (опція).

Чорно-біла ПЗЗ 1/3” з прогресивним скануванням, кольорова ПЗЗ 1/3” (опція)

Робоча відстань об'єктива

Тип 1, 2 и 3

50 мм за кута освітлення 37°,
10 мм за куті освітлення 75°

Тип Z120X

Тип Z120X 9.8 мм для об'єктива великого збільшення та 32 мм для об'єктива малого збільшення

Збільшення та поле зору

Тип 1

0.5 ~ 7.5× / 9.33 × 7 ~ 0.622 × 0.467 мм

Тип 2

1 ~ 15× / 4.67 × 3.5 ~ 0.311 × 0.233 мм

Тип 3

2 ~ 30× / 2.33 × 1.75 ~ 0.155 × 0.117 мм

Тип Z120X

1 ~ 120× / 4.67 × 3.5 ~ 0.039 × 0.029 мм

Автофокус

Тип 1, 2, 3 та Z120X обладнані лазерним автофокусуванням через об'єктив та візуальним автофокусуванням.

Тип LU обладнаний лише візуальним автофокусуванням

Освітлювачі

Тип 1, 2 и 3

Світлодіодний епіскопічний та діаскопічний освітлювачі.

8-сегментний світлодіодний кільцевий освітлювач (внутрішній кільцевий освітлювач з кутом освітлення 37° та зовнішній кільцевий освітлювач з кутом освітлення 75°)

Тип Z120X

Світлодіодний епіскопічний та темнопольний освітлювачі для об'єктивів великого та малого збільшення.

Світлодіодний діаскопічний освітлювач тільки для об'єктива великого збільшення

Вимоги до мережі живлення

AC 100–240 В ± 10%, 50 або 60 Гц

Споживання струму

11 A (стандарт), 13 A (Z120X)

Розміри й вага

Основний блок і стіл

1000 × 1100 × 1900 мм / 570 кг

Блок керування

250 × 550 × 500 мм / 31 кг

Система, включно з комп'ютером на столі

2400 × 1400 мм

Модель мікроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 із величиною ходу столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа дозволяє проводити високоточні вимірювання невеликих деталей, наприклад, фотошаблонів, MEMS, корпусів деталей, мікроскладань, підкладок, напівпровідникових пластин, пресованих і штампованих деталей.

Отримати комерційну пропозицію

Завантаження

зателефонувати