Высокоточная видеоизмерительная система iNEXIV VMZ-H3030
- Особенности
- Характеристики
- Загрузки
Модель микроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 с величиной хода столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа позволяет производить высокоточные измерения небольших деталей, например, фотошаблонов, MEMS, корпусов деталей, микросборок, подложек, полупроводниковых пластин, прессованных и штампованных деталей.
Получить коммерческое предложение
Особенности
- Благодаря гибкости и сверхвысокой точности модель Nikon NEXIV VMZ-H3030 может стать основным инструментом в измерительной лаборатории. За счет оптимального сочетания стеклянных шкал с низким коэффициентом теплового расширения и аппаратных решений микроскоп позволяет достичь субмикронного уровня точности.
- Высокоскоростная лазерная автофокусировка позволяет производить анализ поперечных сечений и оценку плоскостности, а также трехмерный замер профиля поверхности пресс-форм и штамповок.
- Широкий выбор осветителей обеспечивает точное определение границы раздела.
Новый модуль VMR-Z120X обеспечивает диапазон увеличения от 1х до 120х благодаря применению двух объективов и изменению оптического пути. 8-ступенчатое масштабирование позволяет системе производить быстрые измерения сотен различных параметров и важные измерения линий шириной от 1 мкм при неизменном поле зрения.
Особенности
- Модуль максимального увеличения в сочетании с высокоточным предметным столиком позволяет производить точное измерение как крупных деталей, так и миниатюрных структур.
- Система лазерной автофокусировки осуществляет фокусировку относительно точки малого размера, чтобы обеспечить высокую точность измерения поперечных сечений и высоты мелких деталей.
- Программное обеспечение для анализа поверхности, поставляемое в качестве опции, позволяет отображать формы деталей MEMS в трехмерном представлении.
- Знаменитая оптика Nikon CFI60-2 без внутренних напряжений обеспечивает четкие, высококонтрастные изображения, поэтому данная система лучше всего подходит для наблюдения подложек ЖК-дисплеев большого размера и светофильтров. Система позволяет производить как наблюдение детали, так и измерение ее размеров с применением технологий обработки изображений. С помощью призмы высокого дифференциально-интерференционного контраста можно также получать изображения с улучшенным контрастом.
Области применения
Печатные платы, микросборки, подложки, корпуса (2D + высота), детали MEMS.
Модель микроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 с величиной хода столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа позволяет производить высокоточные измерения небольших деталей, например, фотошаблонов, MEMS, корпусов деталей, микросборок, подложек, полупроводниковых пластин, прессованных и штампованных деталей.
Получить коммерческое предложение
|
Перемещение по XYZ
|
Тип 1, 2, 3 и 4
|
300 × 300 × 150 мм
|
|
Тип Z120X с объективом высокого увеличения
|
300 × 300 × 150 мм
|
|
Тип Z120X с объективом малого увеличения
|
250 × 300 × 150 мм
|
|
Тип LU
|
1200 × 720 ×150 мм
|
|
Минимальный шаг считывания
|
0.01 мкм
|
|
Максимальный вес образца
|
30 кг
|
|
Точность (L: длина в мм)
|
U1X, U1Y
|
0.6 + 2L / 1000 мкм
|
|
U2XY
|
0.9 + 3L / 1000 мкм
|
|
Точность по оси Z (с лазерным автофокусом)
|
0.9 + L / 150 мкм
|
|
Камера
|
Черно-белая ПЗС 1/3”, цветная ПЗС 1/3” (опция).
Черно-белая ПЗС 1/3” с прогрессивным сканированием, цветная ПЗС 1/3” (опция)
|
|
Рабочее расстояние объектива
|
Тип 1, 2 и 3
|
50 мм при угле освещения 37°,
10 мм при угле освещения 75°
|
|
Тип Z120X
|
9.8 мм для объектива большого увеличения и 32 мм для объектива малого увеличения
|
|
Увеличение и поле зрения
|
Тип 1
|
0.5 ~ 7.5× / 9.33 × 7 ~ 0.622 × 0.467 мм
|
|
Тип 2
|
1 ~ 15× / 4.67 × 3.5 ~ 0.311 × 0.233 мм
|
|
Тип 3
|
2 ~ 30× / 2.33 × 1.75 ~ 0.155 × 0.117 мм
|
|
Тип Z120X
|
1 ~ 120× / 4.67 × 3.5 ~ 0.039 × 0.029 мм
|
|
Автофокус
|
Тип 1, 2, 3 и Z120X оборудованы лазерной автофокусировкой через объектив и визуальной автофокусировкой.
Тип LU оборудован только визуальной автофокусировкой
|
|
Осветители
|
Тип 1, 2 и 3
|
Светодиодный эпископический и диаскопический осветители. 8-сегментный светодиодный кольцевой осветитель (внутренний кольцевой осветитель с углом освещения 37° и внешний кольцевой осветитель с углом освещения 75°)
|
|
Тип Z120X
|
Светодиодный эпископический и темнопольный осветители для объективов большого и малого увеличения.
Светодиодный диаскопический осветитель только для объектива большого увеличения
|
|
Требования к питающей сети
|
AC 100–240 В ± 10%, 50 или 60 Гц
|
|
Потребление по току
|
11 A (стандарт), 13 A (Z120X)
|
|
Размеры и вес
|
Основной блок и стол
|
1000 × 1100 × 1900 мм / 570 кг
|
|
Блок управления
|
250 × 550 × 500 мм / 31 кг
|
|
Система, включая компьютер на столе
|
2400 × 1400 мм
|
Модель микроскопа Nikon NEXIV VMZ-H3030 с величиной хода столика 300 х 300 х 150 мм. Платформа позволяет производить высокоточные измерения небольших деталей, например, фотошаблонов, MEMS, корпусов деталей, микросборок, подложек, полупроводниковых пластин, прессованных и штампованных деталей.
Получить коммерческое предложение
