Автоматизированный рентгенфлуоресцентный измерительный прибор для анализа тонких покрытий со сложными композициями или малыми концентрациями XDAL® 237
  • Особенности
  • Характеристики

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 – универсальный энергодисперсионный рентгенфлуоресцентный измерительный прибор. Он особенно подходит для неразрушающих измерений и анализа очень тонких покрытий даже с очень сложными композициями или малыми концентрациями, а также для автоматизированных заданий измерения.

Получить коммерческое предложение

Особенности

Типовые сферы применения:

  • Анализ очень тонких покрытий ≤ 0,1 мкм
  • Измерение функциональных покрытий в электронной и полупроводниковой промышленности, например, на ведущих рамах, разъемах или печатных платах
  • Определение сложных многослойных систем покрытий
  • Автоматические измерения, например, контроль качества
  • Определение содержания свинца в припое
  • В версии SDD (20 мм2 или 50 мм2): определение содержания фосфора в покрытиях NiP
  • В версии SDD 50 мм2: высокая скорость подсчета для высокой точности и короткого времени измерения

Чтобы создать идеальные условия возбуждения для каждого измерения, приборы имеют электрически сменные апертуры и первичные фильтры.

Современный кремниевый PIN-детектор обеспечивает высокую точность и хорошую чувствительность к обнаружению. Для более высоких требований прибор может быть оснащен кремниевым дрейфовым детектором (SDD). Это приведет к более высокому разрешению для светлых элементов.

Чрезвычайная точность и долговременная стабильность являются характеристиками всех систем FISCHERSCOPE X-RAY. Значительно уменьшена необходимость повторной калибровки, что экономит время и усилия.

Метод фундаментальных параметров FISCHER позволяет анализировать жесткие и жидкие образцы, а также системы покрытий без калибровки.

Конструкция

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 разработан как удобный настольный инструмент. Он оснащен высокоточным, программируемым XY-столиком и электрической осью Z. Зазор в корпусе позволяет производить измерения на больших плоских образцах, которые не помещаются в измерительную камеру, например, на больших печатных платах. Столик для образцов автоматически перемещается в положение загрузки, когда открывается защитный кожух.

Лазерная указка служит вспомогательным средством позиционирования и быстрого выравнивания образца для измерения. Цветная видеокамера высокого разрешения упрощает точное определение точки измерения.

Управление и оценка измерений, а также четкое представление данных измерений выполняются на компьютере с помощью мощного и удобного программного обеспечения WinFTM®.

Приборы серии FISCHERSCOPE XDAL 237 соответствуют DIN ISO 3497 и ASTM B 568. Это полностью защищенные инструменты с одобрением типа в соответствии с немецким законодательством о радиационной защите.

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 – универсальный энергодисперсионный рентгенфлуоресцентный измерительный прибор. Он особенно подходит для неразрушающих измерений и анализа очень тонких покрытий даже с очень сложными композициями или малыми концентрациями, а также для автоматизированных заданий измерения.

Получить коммерческое предложение

Назначение

Энергодисперсионный рентгеновский флуоресцентный измерительный прибор (EDXRF) для определения толщины тонких покрытий, определения следов элементов и сплавов.

Конструкция

Настольный прибор с крышкой, открывающейся вверх,

программируемым XY-столиком с электроприводом и электрической осью Z.

Сменные диафрагмы и фильтры с электроприводом.

Видеокамера и лазерная указка (класс 1) для ориентации образца

Направление измерений

Сверху вниз

Источник рентгеновского излучения

 

Рентгеновская трубка

Микрофокусная вольфрамовая трубка с бериллиевым окном

Высокое напряжение

Три ступени: 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ; макс. анодный ток: 0,9 мА

Диафрагмы (коллиматоры)

Четыре сменные: Ø 0,1 мм, Ø 0,3 мм, Ø 0,6 мм, щель 0,5 x 0,15 мм, другие по запросу

Первичный фильтр

Три сменные (стандартная конфигурация: никель, алюминий, без фильтра)

Размер точки измерения

Фактический размер зависит от расстояния до образца и размера диафрагмы

Размер точки показан на видеоизображении. Наименьшая измерительная точка: прибл. Ø 0,15 мм с апертурой 0,1 мм

Детектирование рентгеновского излучения

Версия с PIN-детектором

Версия с SDD-детектором 20 мм2

Версия с SDD-детектором 50 мм2

Рентгеновский детектор

Кремниевый PIN-детектор с охлаждением на элементах Пельтье

Кремниевый дрейфовый детектор (SDD) с эффективной площадью 20 мм2 и охлаждением на элементах Пельтье

Кремниевый дрейфовый детектор (SDD) с эффективной площадью 50 мм2

Разрешение (для Mn-Kα)

≤ 200 eВ

≤ 160 eВ

≤ 140 eВ

Диапазон элементов

От серы S (16) до урана U (92)

От алюминия Al (13) до урана U (92)

От алюминия Al (13) до урана U (92)

Измерительное расстояние

0–80 мм

Компенсация расстояния с помощью запатентованного метода DCM для упрощенных измерений при переменном расстоянии. Для специальных задач или повышенных требований к точности может потребоваться дополнительная калибровка

Выравнивание образца

 

Видеомикроскоп

Цветная CCD-камера высокого разрешения для оптического контроля места измерения по оси основного луча, ручная фокусировка и автофокусировка, крестообразная метка с калибровочной шкалой (линейкой) и точечным индикатором, регулируемая светодиодная подсветка, лазерная указка.

Коэффициент масштабирования

Цифровое 1x, 2x, 3x, 4x

Электрические характеристики

 

Источник питания

100–240 В / 50–60 Гц

Потребляемая мощность

Макс. 120 Вт, без ПК для оценки

Класс защиты

IP40

Размеры

 

Внешние габариты (Ш х Г х В)

570 x 760 x 650

Камера для измерения, внутренние габариты (Ш х Г х В)

460 x 495 x 146

Вес

Прибл. 115 кг

Столик для образцов

 

Конструкция

Программируемый столик с электроприводом, перемещение по осям XY

Максимальный ход

Оси X / Y: 255 x 235 мм; ось Z: 140 мм

Максимальная скорость перемещения

80 мм/с

Точность повторного позиционирования XY

≤ 0,01 мм, независимо от направления

Полезная площадь для размещения образца (Ш х Г)

300 x 350 мм

Максимальный вес образца

5 кг, с пониженной точностью позиционирования 20 кг

Максимальная высота образца

140 мм

Условия внешней среды

 

Рабочая температура

10…40°C

Температура хранения / транспортировки

0…50°C

Относительная влажность

≤ 95%

Блок оценки

 

 Компьютер

Windows® ПК с картой расширения

Программное обеспечение

Стандартно: Fischer WinFTM® BASIC включая PDM®

Опция: Fischer WinFTM® SUPER

Стандарты

 

Декларация соответствия CE

EN 61010, EN 61326

Стандарты по рентгеновскому излучению

DIN ISO 3497 и ASTM B 568

Сертификация

Полностью защищенные инструменты с одобрением типа в соответствии с законодательством Германии о радиационной защите