Автоматизований рентгенфлуоресцентний вимірювальний прилад для аналізу тонких покриттів зі складними композиціями або малими концентраціями XDAL® 237

Головна
Випробування покриттів
Вимірювання товщини покриттів
РФА метод
Автоматизований рентгенфлуоресцентний вимірювальний прилад для аналізу тонких покриттів зі складними композиціями або малими концентраціями XDAL® 237

Особливості
Характеристики

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 – універсальний енергодисперсійний рентгенфлуоресцентний вимірювальний прилад. Він особливо підходить для неруйнівних вимірювань і аналізу дуже тонких покриттів, навіть із дуже складними композиціями або малими концентраціями, а також для автоматизованих завдань вимірювання.

Отримати комерційну пропозицію

Особливості

Типові сфери застосування:

Аналіз дуже тонких покриттів ≤ 0,1 мкм
Вимірювання функціональних покриттів в електронній і напівпровідниковій промисловості, наприклад, на провідних рамах, роз’ємах або друкованих платах
Визначення складних багатопокривних систем
Автоматичні вимірювання, наприклад, контроль якості
Визначення вмісту свинцю в припої
У версії SDD (20 мм² або 50 мм²): визначення вмісту фосфору в покриттях NiP
У версії SDD 50 мм²: висока швидкість підрахунку для найвищої точності й короткого часу вимірювання

Щоб створити ідеальні умови збудження для кожного вимірювання, прилади мають електрично змінні апертури та первинні фільтри.

Сучасний кремнієвий PIN-детектор забезпечує високу точність і хорошу чутливість виявлення. Для ще більш високих вимог прилад може бути оснащений кремнієвим дрейфовим детектором (SDD). Це призведе до вищої роздільної здатності для світлих елементів.

Надзвичайна точність і довгострокова стабільність є характеристиками всіх систем FISCHERSCOPE X-RAY. Значно зменшена необхідність повторного калібрування, що економить час і зусилля.

Метод фундаментальних параметрів FISCHER дає змогу аналізувати тверді й рідкі зразки, а також системи покриттів без калібрування.

Конструкція

FISCHERSCOPE X-RAY XDAL 237 розроблений як зручний настільний інструмент. Він оснащений високоточним, програмованим XY-столиком і електричною віссю Z. Зазор у корпусі дає змогу проводити вимірювання на великих плоских зразках, які не поміщаються у вимірювальну камеру, наприклад, на великих друкованих платах. Столик для зразків автоматично переміщується в положення завантаження, коли відкривається захисний кожух.

Лазерна указка служить допоміжним засобом позиціонування та виконання швидкого вирівнювання зразка для вимірювання. Кольорова відеокамера високої роздільної здатності спрощує точне визначення точки вимірювання.

Управління й оцінювання вимірювань, а також чітке представлення даних вимірювань виконуються на ПК за допомогою потужного й зручного програмного забезпечення WinFTM®.

Прилади серії FISCHERSCOPE XDAL 237 відповідають DIN ISO 3497 і ASTM B 568. Це повністю захищені інструменти зі схваленням типу відповідно до німецького законодавства про радіаційний захист.

Отримати комерційну пропозицію

Призначення	Енергодисперсійний рентгенівський флуоресцентний вимірювальний прилад (EDXRF) для визначення товщини тонких покриттів, визначення слідів елементів та сплавів.
Конструкція	Настільний прилад із кришкою, що відкривається вгору, програмованими XY-столиком з електроприводом і електричною віссю Z Змінні діафрагми та фільтри з електроприводом Відеокамера та лазерна указка (клас 1) для орієнтації зразка
Напрямок вимірювання	Згори вниз
Джерело рентгенівського випромінювання
Рентгенівська трубка	Мікрофокусна вольфрамова трубка з берилієвим вікном
Висока напруга	Три ступені: 10 кВ, 30 кВ, 50 кВ; макс. анодний струм: 0.9 мА
Діафрагми (коліматори)	Чотири змінні: Ø 0,1 мм, Ø 0,3 мм, Ø 0,6 мм, щілина 0,5 x 0,15 мм, інші на запит
Первинний фільтр	Три змінні (стандартна конфігурація: нікель, алюміній, без фільтра)
Розмір точки вимірювання	Фактичний розмір залежить від відстані до зразка та розміру діафрагми Розмір точки відображається на відеозображенні. Найменша вимірювальна точка: прибл. Ø 0,15 мм з апертурою 0,1 мм
Детектування рентгенівського випромінювання	Версія з PIN-детектором	Версія з SDD-детектором 20 мм²	Версія з SDD-детектором 50 мм²
Рентгенівський детектор	Кремнієвий PIN-детектор з охолодженням на елементах Пельтьє	Кремнієвий дрейфовий детектор (SDD) з ефективною площею 20 мм² і охолодженням на елементах Пельтьє	Кремнієвий дрейфовий детектор (SDD) з ефективною площею 50 мм²
Роздільна здатність (для Mn-Kα)	≤ 200 eВ	≤ 160 eВ	≤ 140 eВ
Діапазон елементів	Від сірки S (16) до урану U (92)	Від алюмінію Al (13) до урану U (92)	Від алюмінію Al (13) до урану U (92)
Вимірювальна відстань	0–80 мм Компенсація відстані за допомогою запатентованого методу DCM для спрощених вимірювань за змінної відстані. Для спеціальних завдань або для підвищених вимог до точності може знадобитися додаткове калібрування
Вирівнювання зразка
Відеомікроскоп	Кольорова CCD-камера високої роздільної здатності для оптичного контролю місця вимірювання по осі основного променя, ручне фокусування й автофокусування, хрестоподібна мітка з каліброваною шкалою (лінійкою) і точковим індикатором, регульоване світлодіодне підсвічування, лазерна указка (клас 1) для точного позиціонування зразка
Коефіцієнт масштабування	Цифрове 1x, 2x, 3x, 4x
Електричні характеристики
Джерело живлення	100–240 В / 50–60 Гц
Споживана потужність	Макс. 120 Вт, без ПК для оцінювання
Клас захисту	IP40
Розміри
Зовнішні габарити (Ш х Г х В)	570 x 760 x 650 мм
Камера для вимірювання, внутрішні габарити (Ш х Г х В)	460 x 495 x 146 мм
Вага	Прибл. 115 кг
Столик для зразків
Конструкція	Програмований столик з електроприводом, переміщення по осях XY
Максимальний хід	Осі X / Y: 255 x 235 мм; вісь Z: 140 мм
Максимальна швидкість переміщення	80 мм/с
Точність повторного позиціонування XY	≤ 0,01 мм, незалежно від напрямку
Корисна площа для розміщення зразка (Ш х Г)	300 x 350 мм
Максимальна вага зразка	5 кг, зі зниженою точністю позиціонування 20 кг
Максимальна висота зразка	140 мм
Умови зовнішнього середовища
Робоча температура	10…40°C
Температура зберігання / транспортування	0…50°C
Відносна вологість	≤ 95%
Блок оцінювання
Комп’ютер	Windows® ПК з картою розширення
Програмне забезпечення	Стандартно: Fischer WinFTM® BASIC включно з PDM® Опція: Fischer WinFTM® SUPER
Стандарти
Декларація відповідності CE	EN 61010, EN 61326
Стандарти щодо рентгенівського випромінювання	DIN ISO 3497 і ASTM B 568
Сертифікація	Повністю захищені інструменти зі схваленням типу відповідно до законодавства Німеччини про радіаційний захист