Особенности

• Механический манометр с мембранным элементом
• Компактная конструкция для минимального мертвого объема и уменьшения образования и улавливания частиц
• Испытано на герметичность гелием, скорость утечки ≤ 10^-9мбар·л/с
• Электрополированные смачиваемые детали, поверхности с Ra < 0,25 мкм (Ra < 10 мкдюйм) для элемента диафрагмы и измерительной камеры
• Компоненты технологического соединителя из электрополированного сплава 316L с металлическим уплотнительным диском, орбитально приваренные к измерительной камере

Обладая такими характеристиками, как UHP, мини-мембранный манометр подходит для полупроводниковой промышленности и производства плоских панелей, различных систем распределения газа, а также для медицинских газов.

Мини-мембранный манометр соответствует стандартам SEMATECH и SEMI, чтобы оптимально гарантировать качество, требуемое вашими приложениями.

Применение

• Для газообразных и жидких, а также агрессивных сред, требующих высокой чистоты
• Производство полупроводников и плоских панелей
• Системы газораспределения
• Медицинские газы
• Приложение для подключения