Особливості

• Механічний манометр із мембранним елементом
• Компактна конструкція для мінімального мертвого обсягу та зменшення утворення й уловлювання частинок
• Випробовано на герметичність гелієм, швидкість витоку ≤ 10^-9 мбар·л/с
• Електрополіровані змочувані деталі, поверхні з Ra < 0,25 мкм (Ra < 10 мкдюйм) для елемента діафрагми й вимірювальної камери
• Компоненти технологічного з’єднувача з електрополірованого сплаву 316L з металевим диском ущільнювача, орбітально приварені до вимірювальної камери

Маючи такі характеристики, як UHP, міні-мембранний манометр підходить для напівпровідникової промисловості й виробництва плоских панелей, різних систем розподілу газу, а також для медичних газів.

Мінімембранний манометр відповідає стандартам SEMATECH і SEMI, щоб оптимально гарантувати якість, необхідну для ваших застосунків.

Застосування

• Для газоподібних і рідких, а також агресивних середовищ, які потребують високої чистоти
• Виробництво напівпровідників та плоских панелей
• Системи газорозподілу
• Медичні гази
• Застосунок для підключення