Особливості
- Механічний манометр із мембранним елементом
- Компактна конструкція для мінімального мертвого обсягу та зменшення утворення й уловлювання частинок
- Випробовано на герметичність гелієм, швидкість витоку ≤ 10-9 мбар·л/с
- Електрополіровані змочувані деталі, поверхні з Ra < 0,25 мкм (Ra < 10 мкдюйм) для елемента діафрагми й вимірювальної камери
- Компоненти технологічного з’єднувача з електрополірованого сплаву 316L з металевим диском ущільнювача, орбітально приварені до вимірювальної камери
Маючи такі характеристики, як UHP, міні-мембранний манометр підходить для напівпровідникової промисловості й виробництва плоских панелей, різних систем розподілу газу, а також для медичних газів.
Мінімембранний манометр відповідає стандартам SEMATECH і SEMI, щоб оптимально гарантувати якість, необхідну для ваших застосунків.
Застосування
- Для газоподібних і рідких, а також агресивних середовищ, які потребують високої чистоти
- Виробництво напівпровідників та плоских панелей
- Системи газорозподілу
- Медичні гази
- Застосунок для підключення
