Особливості
- Медіакамера без мертвого простору
- Відмінна поведінка під час полоскання
- Випробовано на герметичність гелієм, швидкість витоку ≤ 10-9 мбар·л/с
- Корпус і камера для середовища електрополіровані, шорсткість поверхні Ra ≤ 0,25 мкм
- Доступні всі фітинги для газу надвисокої чистоти
Застосування
- Виробництво напівпровідників і плоских панелей
- Системи газорозподілу
- Медичні гази
- Hook-up-застосунок